本实用新型公开了一种MEMS地震检波器,其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥,其中,MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计;上述支撑架为长方体状;上述MEMS加速度计为电容式加速度计,包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计,三者分别立设于支撑架上相邻的三个侧面上,且Z加速度计所处的侧面为支撑架上朝向上盖的顶面;上述尾锥设置在螺杆上,螺杆穿过保护壳的底板并与机芯壳相抵。该MEMS地震检波器中避免了使用具有固有频率的线圈,可记录的动态范围大,响应频带宽、分辨率高,利于探测由人工震源产生的全部宽频带弹性波。 |