仪器名称：聚焦离子束-扫描电镜系统
生产厂家：卡尔蔡司（上海）管理有限公司
引进时间：2015年12月14日
主要技术指标：
电子束: 加速电压0.1 - 30 kV，场发射灯丝，2.5 nm @ 1 kV 在最佳工作距离；
离子束：加速电压0.5 - 30 kV，探针电流1 pA-50 nA，分辨率5 nm (30 kV)
主要功能及应用：
聚焦离子束-扫描电镜双束系统可以实现定点制备高质量的TEM样品、在微纳米尺度上截面精细结构观察（如微纳孔隙）和原位标记等多种功能分析。
机组人员：
潘永信 中心主任 电话：82998406；E-mail: yxpan@mail.iggcas.ac.cn
谷立新 技术人员 电话：82998592；E-mail: gulixin@mail.iggcas.ac.cn
唐旭 技术人员 电话：82998592；E-mail: tangxv@mail.iggcas.ac.cn
安放地点：中国科学院地质与地球物理研究所 地4楼 一层
所属实验室：电子显微镜实验室
配套设施：建有样品制备室，配备有离子切片机、立体镜、抛光机、真空镀膜仪等。