仪器名称： 场发射电子探针 -SXFiveFE
生产厂家：法国CAMECA公司
引进时间：2015年4月
主要技术指标： 场发射电子枪，加速电压 5~30kv；配备4道波谱仪，8块分光晶体（其中6个大晶体），可分析元素周期表B~U之间的元素。二次电子像（SEI）空间分辨率6nm；加速电压10kv 束流100nA条件下，束斑小于200nm。配备Bruker能谱仪。
检出限：常规分析条件下，0.0n%(wt)
准确度： 主量元素优于2%
主要功能及应用：
主要通过测定元素特征X射线进行矿物等固态样品的高分辨率微区原位主元素分析，包括元素定量分析与线、面分布分析（X_ray mapping）,亦可以进行次微量元素（含量低于0.01%wt）的定量分析。利用电子图像可观测不同矿物相之间的超显微关系。广泛运用于地质学各学科领域。在造山带构造、岩石圈演化、金属矿床形成等地质作用动力学过程研究中得到深度应用。
机组人员：
陈 意 实验室主任 电话：82998534；E-mail: chenyi@mail.iggcas.ac.cn
毛 骞 技术主管 电话：82998483；E-mail: maoqian@mail.igcas.ac.cn
张 迪 技术人员 电话：82998577；E-mail: zhangdi@mail.iggcas.ac.cn
安放地点：中国科学院地质与地球物理研究所 地7楼 三层
所属实验室：电子探针与扫描电镜实验室
配套设施：包括偏光显微镜、抛光机、真空镀膜仪等。